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【摘 要】
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当前集成电路器件尺寸已缩小到纳米尺度，在此尺度下，传统体硅CMOS器件的进一步缩小受到来自于器件结构、材料以及工作机理等诸多方面的严重限制。兼容CMOS工艺的纳米材料和纳米
【机 构】
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中国科学院微电子研究所
【出 处】
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中国科学院微电子研究所
【发表日期】
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2008年期
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