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【摘 要】
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纳米技术推动当前对纳米结构定位以及单个纳米结构的检测等技术的发展。电子束直写是一种无需掩模，具有高分辨率，高灵活性的图形加工技术，在纳米材料及其器件领域有广泛的应用，特
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
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中国科学院上海技术物理研究所
【发表日期】
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2004年期
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