【摘 要】
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该文基于国内外现有的研究成果,通过大量的研究和论证,提出了一个具有新型对称结构的CMOS集成二维热流量传感器.文中具体阐述了此传感器的工作原理,设计过程以及制作方法和最
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该文基于国内外现有的研究成果,通过大量的研究和论证,提出了一个具有新型对称结构的CMOS集成二维热流量传感器.文中具体阐述了此传感器的工作原理,设计过程以及制作方法和最后的测试结果.在传感器的设计过程中,该文进一步发展了一个热电薄膜结构的流量传感器的热学模型,利用改进后的分析模型具体探讨了传感器性能参数（如灵敏度、探测率和热时间常数）与其几何尺寸的关系,用曲线形式所表示的分析结果为此类传感器的优化设计提供了依据.待传感器的几何尺寸和结构布局以及加工工艺确定后,该文利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN CFD对其进行了具体的模拟和分析.其模拟分析结果与传感器实际测量的结果对比,发现二者基本吻合,从而为进一步优化设计此传感器提供了一个简单而有效的方法.最后,对此传感器进行了具体的加工和测量,测试结果表明此传感器性能良好,达到了预期的结果.综合而言,此传感器具有节省芯片面积、灵敏度高、体积小、易于集成和性能优越等优点,同时在工艺、封装以及系统集成等方面还存在一些问题,有待于进一步完善.
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