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【摘 要】
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目前,新型功能薄膜材料的研究十分活跃,薄膜样品的厚度、折射率等参数的快速测量,以及薄膜生长过程中的膜厚与折射率的实时监测,是高质量纳米级薄膜生产和研究中的关键技术。
【机 构】
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华南师范大学
【出 处】
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华南师范大学
【发表日期】
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2011年期
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