【摘 要】
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该文分为两个部分的内容:(1)声表面波气敏传感器;(2)用声表面波器件实现小波变换.该文对声表面波二氧化硫气体传感器吸收特性作了试验与理论分析.通过深入研究声表面波(SAW)S
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该文分为两个部分的内容:(1)声表面波气敏传感器;(2)用声表面波器件实现小波变换.该文对声表面波二氧化硫气体传感器吸收特性作了试验与理论分析.通过深入研究声表面波(SAW)SO<,2>气敏传感器频移与浓度之间的关系,对聚苯胺敏感膜的SAW SO<,2>传感器进行了试验与理论研究,为聚苯胺敏感膜的SAW传感器应用提供了理论依据.将有机物聚苯胺(PAn)和硫化镉(CdS)两者的气敏特性进行了对比,得出了SO<,2>气敏膜吸收特点,对研究其它气敏膜也有指导作用.由质量负载效应,以气敏膜的共同特性为基础提出了一个双能谷模型,对SAW SO<,2>气体传感器进行了讨论.将小波变换理论和声表面波技术相结合,对用声表面波器件实现小波变换的基本理论进行了分析和推导,首次提出了小波变换器件的理论模型.根据声表面波器件实现小波变换的理论,用半导体平面制作工艺,首次制作了WTD(Wavelet Transform Device)的小波变换器件.对制作的小波变换器件进行了测试,根据测试结果,对以后小波变换器件的制作做了讨论.根据用声表面波器件实现小波变换的理论,设计了用声表面波器件实现小波变换计算数据的软件,可以用该软件对所设计的小波变换器件模拟.
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