【摘 要】
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原子力显微镜(AFM)的诞生为纳米技术的迅猛发展起到了推波助澜的作用,为人们在纳米尺度上的研究物质的结构及其相互作用提供了有力的手段.虽然AFM在最初的发展阶段主要以形貌
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原子力显微镜(AFM)的诞生为纳米技术的迅猛发展起到了推波助澜的作用,为人们在纳米尺度上的研究物质的结构及其相互作用提供了有力的手段.虽然AFM在最初的发展阶段主要以形貌测量及获得表面特性为应用特征,但是人们相信把AFM作为加工工具来对材料进行纳米加工将是其未来的主要应用领域之一.该论文结合国家自然科学基金重点项目课题"微纳米加工表层形成机理及相关技术基础",提出了"基于原子力显微镜的纳米加工技术研究"这一研究课题.围绕此课题展开了以下内容的研究:在阅读了大量国内外文献的基础上,对原子力显微镜(AFM)在工业中的应用尤其是在纳米加工领域的研究现状进行了较为全面的综合评述.提出了一个基于原子力显微镜三棱边金字塔形金刚石针尖的几何形状及与材料之间的单点切削机理所建立的理论模型,用以估算施加于金刚石针尖的法向力和切向力以及材料的屈服强度.
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