液中观察型原子力显微镜(AFM)的研究

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现在,随着纳米测试计量技术的发展,对于具有原子量级横向和纵向测试分辩率的原子力显微镜(AFM)/扫描隧道显微镜(STM)研究成为目前此领域中的一个重要内容.从STM技术发展起来的利用测量探针和被测物体之间发生的各种各样的相互间的物理作用(原子力,磁力等等)从而能得到被测物体表面形貌信息的显微镜,现在也通常被称为扫描探测显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM).该研究工作就是在这样的环境和背景下,以不同于以往的AFM测量方式的液体中观察型AFM为研究中心进行的.首先,对开发适用于加工面的超精密测量和有机物质(如生物细胞)测量的液体中观察型AFM的背景,必要性和重要性进行了论述,明确了该研究的目的和意义.随后,就AFM的构成基本要素,揭示了AFM的一般原理以及做为该研究特点之一的探针驱动角度检测型AFM的原理.在详细介绍了用于角度检测型AFM的角度检测装置-临界角度传感器的原理及理论计算和模拟方法以后,还介绍了研制成功的液体中观察型AFM等的基本原理.该论文对液体中观察型AFM进行了设计、制作,并对其构造进行了描述.
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