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电流体喷印具有打印精度高和粘度范围广的特点，被认为是最具潜力的印刷电子器件图案化工艺之一。为满足印刷电子器件的高效制造要求，克服逐点打印存在的低效问题，研制出能稳定、高精度、高效和独立可控喷印的喷嘴阵列至关重要，目前国内外的相关研究才刚开始。本学位论文基于电流体喷印原理及微纳制造工艺设计并制作出硅基喷嘴阵列，围绕喷射过程机理、如何实现稳定高精度高效喷印、独立可控自动化喷印方法以及功能图案制备等方面开展系统深入研究，主要研究工作和创新之处在于： 1）研究了喷嘴电流体喷印时锥射流喷射的机理。建立了电流体喷印中锥射流喷射过程的数值仿真模型，探索了电液耦合驱动下射流喷射的作用机制，揭示了喷嘴的结构参数和工艺参数对打印结果的影响规律。 2）提出了一种由 Si喷嘴层和 PDMS储液层组成的平面式硅基喷嘴设计方案。对Si喷嘴层，实验验证了自主设计的MEMS加工工序的合理性。提出了绝缘处理的办法来解决其电流体喷印时的稳定性问题。揭示了占空比、基板速度、工作电压对于打印分辨率的作用规律，建立了极限打印性能的工艺窗口。 3）提出了一种由 Si喷嘴层和PMMA储液层组成的改进型突出式硅基喷嘴设计方案。对Si喷嘴层，实验验证了自主设计的MEMS加工工序的合理性以及结构改进对于减小弯月面附着直径的有效性。揭示了占空比对于打印分辨率的影响规律，建立了极限打印性能的工艺窗口。实现了喷嘴阵列的并行喷印，为更高集成度喷嘴阵列的研制提供参考。 4）研究了喷嘴阵列独立可控及自动化喷印的解决方案。通过仿真提出了基于多级电压的独立喷射控制方法，实验验证了其实现阵列化喷嘴独立可控喷印的有效性。提出了一种以图案解析为基础，基于 PMAC卡协调控制电压、气压和运动参数的自动化按需喷印方法，实现从位图输入到基底上图案自动化打印成形。 5）探索了硅基喷嘴在喷印高精度量子点图案阵列上的应用。选取出适合的量子点体系，揭示了工艺电压的占空比和频率对于量子点直径的影响规律，实现了量子点液滴直径的连续可调喷印，为量子点发光二极管的数字化喷印制造奠定基础。