【摘 要】
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该文对无源隔振理论和有源隔振理论进行了比较分析,确定了加速度反馈控制作为有源隔振的控制方案.建立了垂直方向的有源隔振系统,并详细介绍了硬件系统的组成原理.自行研制了
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该文对无源隔振理论和有源隔振理论进行了比较分析,确定了加速度反馈控制作为有源隔振的控制方案.建立了垂直方向的有源隔振系统,并详细介绍了硬件系统的组成原理.自行研制了以MCS-51单片机为核心的控制电路板,包括模数转换模块、单片机系统模块、数模转换模块,实现双极性模拟量输入的12位精度转换、12位数字量输出的双极性转换.分析了PID控制算法,采用单片机高级编程语言C51进行了控制程序的设计,以实现了PID调节.首先对超精密机床无源隔振台的振动特性进行了测试,包括对无源隔振台的垂直方向振动固有频率、三个方向的时域特性、频域特性及垂直方向的绝对传递系数进行了测试.为了探讨该有源隔振台的有效性和实用性,同样对其三个方向的时域特性、频域特性及垂直方向的绝对传递系数进行了测试.通过与无源隔振台的对比,证明有源隔振改善了隔振台的振动情况和隔振效果.
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