【摘 要】
：
RFMEMS利用MEMS技术制作各种用于电子通讯的射频器件或系统,把半导体有源器件、微加工元件和MEMS器件集成到一块芯片射频微系统上,从而实现单芯片生的射频系统,使产品集成化
论文部分内容阅读
RFMEMS利用MEMS技术制作各种用于电子通讯的射频器件或系统,把半导体有源器件、微加工元件和MEMS器件集成到一块芯片射频微系统上,从而实现单芯片生的射频系统,使产品集成化、微型化、智能化。
RFMEMS传输线是RFMEMS技术研究的重点之一,是其他RFMEMS元器件和组件的基础。随着通信系统向低损耗、低功耗、高隔离度方向发展的要求,对于RFMEMS传输线的性能提出了更高的要求,为了达到这些要求,我们传统的设计方法已经力不从心,需要采用新的结构和设计方法来设计和制造新型的RFMEMS传输线。
本论文首先对毫米波MEMSCPW传输线的等效电路模型及信号传输模型进行了分析,并运用保角变换法对传统的CPW和背敷金属的CPW进行了建模分析和电磁场分析；然后在以上理论的基础上,采用微屏蔽和开槽的方法设计出了几种工作在5-60GHz下的新型毫米波MEMSCPW传输线,采用了保角变换法计算出了共面波导的电容、特性阻抗和有效介电常数,仿真结果表明此类传输线与传统共面波导传输线相比具有更低的损耗和更好的性能；接着对左手材料传输线的基本理论作了详细的研究,并利用基于CSRR左手材料的实现方式,设计了新型毫米波MEMS传输线,并对其进行了仿真特性分析,通过分析我们可以看出该类传输线的性能要远远优于传统的传输线；最后在以上研究工作的基础上,进而研究了新型毫米波MEMS传输线在滤波器、天线等方面的应用,并对系统级封装技术进行了初步的探讨。
其他文献
氧化锌(ZnO)是一种直接宽带隙半导体材料，具有很高的激子束缚能(60meV)。ZnO具有优越的光电特性，在蓝紫光发光器件、紫外探测器件和短波长激子型激光器等方面具有广阔的应用前
随着高通量测序技术的发展，价格低廉、分析方便的转录组数据已经成功运用于非模式生物研究的多个方面。本研究旨在探索转录组测序能否成功应用于灯台报春组（报春花属）的分子进化
本论文分为四章。
第一章，前言综述。首先对食用真菌病毒进行了概述，主要介绍了食用真菌病毒的形态特征，食用真菌病毒的对宿主影响及其传播，食用真菌病毒的起源和复制。随后
光互连技术特别是片上光互连的飞速发展对光子器件的集成度提出了越来越高的要求。硅基无源光子器件具有在光通信波段透明、尺寸紧凑、成本低、与CMOS工艺兼容、易与微电子器
益智(Alpinia oxyphylla MIQUEL)是姜科(Zingiberaceae)山姜属植物，为四大南药之一，广泛分布在海南、广东和广西等地。因含有挥发油、萜类、黄酮类和庚烷类衍生物、矿物质等多
银行业的价值评估对于推进金融体制改革存在重要意义,本文从价值评估文献综述入手,建立了一个两步骤的统计学模型,首先通过因子分析得到影响银行价值的主要成分,然后通过多元
目的:通过研究RAGE及其配体HMGB1和S100B在人及大鼠的缺血脑组织中的表达情况，结合体外神经细胞和PC12细胞OGD模型中RAGE及其配体的表达以及S100B和RAGE的相互作用结果，探讨RAG
第三代移动通信系统(3G)已逐渐融入了我们的生活，它所提供的各种多媒体业务也不断地提升着人们的生活品质。但人们从来就没有放弃对下一代移动通信系统(B3G和4G)技术的研究与
在计算机视觉领域中，从图像序列恢复结构也称为从运动恢复结构。它广泛应用于如自动导航系统、目标物体检测、在各种危险场合工作的机器人、计算机辅助外科手术和虚拟现实等方
多桩承台基础型式:又称群桩式高桩承台基础,主要由钢筋混凝土承台和一组钢管桩构成.根据地质条件和风电机组荷载量级,可采用不同数量的钢管桩,钢管桩可设计为斜桩或直桩,混凝