【摘 要】
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该文将理论分析、数值模拟和实验测试相结合,研究了用扫描热显微镜测量微小区域的热导率的技术和用二维周期热流法测量极薄膜的热扩散率的技术. 从理论和实验上研究了扫描热
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该文将理论分析、数值模拟和实验测试相结合,研究了用扫描热显微镜测量微小区域的热导率的技术和用二维周期热流法测量极薄膜的热扩散率的技术. 从理论和实验上研究了扫描热显微镜的测量机理.研究了两种工作模式下的热阻网络,并对网络中的各热阻进行了具体分析.编制了形貌图和热像图处理程序,使得能够对它们进行广泛的定量处理.用数值模拟和实验的方法研究了二维周期热流法测量极薄膜热扩散率的技术.制备了台阶形薄膜样品,并实测了其较薄部分的热扩散率,测量结果与数值模拟的结果符合良好,初步说明,在精细设计和制作样品的基础上,可望用该方法测量极薄膜的导热性质.
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