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软X射线谱学显微光束线是上海光源首批建造的七条光束线之一。变包含角平面光栅单色仪是光束线的关键部件，它由平面镜和平面光栅组成。单色仪的机械精度直接影响出射光束的能量分辨率和能量位置精度。
本论文介绍了国内外常见的光栅单色仪的种类和工作原理；根据上海光源软X射线谱学显微光束线变包含角平面光栅单色仪系统的技术要求，分析了平面镜和光栅的转角重复精度，光栅切换机构的机械精度；对单色仪机械系统精度的检测技术进行了详细的讨论，结合上海光源现有测量仪器配置，通过分析比较，确定采用以光电自准直仪为主的测量方案；结合误差分析理论，分析讨论了该方案在测量过程中的测量误差；根据上述方案，分别在长春光学精密机械与物理研究所和上海光源，对单色仪的机械精度进行了测量，测量结果显示仪器机械精度超出设计指标要求。
结合参加BL16B光束线现场机械准直、安装工作，介绍了上海光源经常用到的机械准直测量仪器，实验装置的主要安装准直步骤。
目前，软X射线谱学显微光束线已成功出束，其能量分辨率超过了设计指标要求。