【摘 要】
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该文对相移干涉显微镜进行微型机械零件表面形貌测量系统进行了实用化研究,论述了系统的测量原理,给出典型样品的实验结果及误差分析.由于干涉显微镜的工作距离短,景深也短,
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该文对相移干涉显微镜进行微型机械零件表面形貌测量系统进行了实用化研究,论述了系统的测量原理,给出典型样品的实验结果及误差分析.由于干涉显微镜的工作距离短,景深也短,因此若被测对象调焦清晰后,稍有误差,干涉图样就变得模糊.该研究工作在相移干涉显微镜中增加了自动调焦系统.为了进一步完善系统的自动调焦功能,该文对图像清晰度判据函数的选取和图像噪声的滤除进行了深入的研究,采用了对图像数据先进行同态滤波再计算判据函数值的新方法;同时根据实际情况对调焦时最佳物面的搜索等问题进行了讨论.使测量系统快速获取高清晰干涉图像,提高了测量速度和测量精度.实验表明系统自动调焦范围扩大到士150μm,自动调焦精度为±10.3μm,调焦时间为4-8秒.
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