新型ZnO薄膜低压压敏电阻的制备及性能研究

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ZnO压敏电阻是一种具有优良非线性伏安特征的电路保护元件,其响应快,稳定工作温度范围宽,浪涌吸收能量强,因而广泛应用于各种电路的过压保护及稳压.随着集成电路、大规模集成电路的发展,特别是数字电子技术的飞速发展,用于低压电路的过压保护以及静电保护的低压压敏电阻有着越来越广泛的应用空间.ZnO压敏电阻的低压化、小型化、集成化已经成为研究的热点和发展方向.ZnO陶瓷薄膜具有优良的低压压敏性质,其在制备小功率、小型低压压敏电阻器及压敏电阻阵列方面具有广阔的应用前景.论文系统研究了ZnO陶瓷薄膜的新型sol-gel制备技术,ZnO纳米粉体的制备及其分散技术,ZnO陶瓷薄膜低压压敏电阻及其电性能,ZnO低压压敏陶瓷薄膜的相组成、晶界特征及其导电机理,ZnO陶瓷薄膜低压压敏电阻的老化和失效机理,以及ZnO陶瓷薄膜的刻蚀及多元低压压敏电阻阵列的制备等.
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