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本文主要研究激光加工改变钛酸锶(SrTiO3)单晶表面的浸润性。其一,采用波长为1064 nm的皮秒激光器对SrTiO3单晶表面进行刻蚀加工。分别在不同的激光输出功率、激光扫描速度和扫描次数条件下,加工周期性线排列沟槽结构的SrTiO3单晶表面。分析了激光输出功率、激光扫描速度和扫描次数对加工效果的影响。结论表明:周期性线排列沟槽的间隔大小决定表面静态接触角的大小,间隔越小,表面接触角越小。当间隔小于150μm时,加工所得表面为超亲水表面。此结论与Wenzel模型相符,验证了增大表面粗糙度可以增加表面亲水性的理论。同时沟槽尺寸很小,水滴在沟槽表面的迅速铺开也是毛细作用的一种表现。 其二,采用波长为248nm的准分子激光器对SrTiO3单晶表面进行辐照改性。采用248 nm的准分子激光器,分别在空气、真空和只含有水蒸气的低真空环境下辐照SrTiO3单晶表面。结论表明:激光辐照SrTiO3单晶所得表面的接触角与辐照气氛密切相关。在空气中辐照时,辐照后SrTiO3单晶表面接触角达到20°左右,激光能量越大,达到20°所用的脉冲数越少;改变辐照环境的气压,辐照后样品的接触角随气压降低发生了从20°到72°的变化;在真空下辐照时,SrTiO3单晶的接触角不变;此外,准分子激光辐照SrTiO3单晶得到的亲水性具有时效性,不能长久存在。结合表面吸附理论对准分子激光辐照改变SrTiO3单晶表面浸润性机理进行了分析,研究表明准分子激光辐照加强了SrTiO3吸附水的能力,使其静态接触角变小,亲水性增强。