【摘 要】
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现代超精加工的发展和生产自动化程度的提高,对表面粗糙度在线检测提出了迫切的要求.该文围绕利用光探针法在线测量表面粗糙度展开研究工作.在分析几种典型的精加工表面的微
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现代超精加工的发展和生产自动化程度的提高,对表面粗糙度在线检测提出了迫切的要求.该文围绕利用光探针法在线测量表面粗糙度展开研究工作.在分析几种典型的精加工表面的微观轮廓特征基础上,研究了共路光探针外差法在线测量表面粗糙度的方案及关键技术,并提出一种利用反卷积轮廓复原技术来减小光探针直径所导致的评定误差的方法.此外,该文还对影响表面粗糙度参数评定的主要因素进行了分析.首先,利用计量型原子力显微镜对几种典型的精加工表面的测试结果,研究分析了精加工表面的微观轮廓特征,并通过与光学方法测量的粗糙度结果相比对,得出:由于受横向分辨率、表面微观斜率和信噪比的限制,光学方法较适用于测量精磨加工而成的表面的粗糙度(1nm),实现了在高精度磨床上在线测量表面粗糙度的实验.
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