【摘 要】
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电阻应变计是电阻应变压力传感器的核心组成部分,在应力测量与结构形变分析领域中有着广泛应用.薄膜式电阻应变计的性能优良,在国内尚未有大批量生产.该文主用微电子技术制造
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电阻应变计是电阻应变压力传感器的核心组成部分,在应力测量与结构形变分析领域中有着广泛应用.薄膜式电阻应变计的性能优良,在国内尚未有大批量生产.该文主用微电子技术制造高性能的溅射薄膜式电阻应变计,深入分析了薄膜技术对应工作特性参数的影响及改进,并通过选取适当的材料改善应变计的各项工作参数.从固体物理的角度研究了薄膜材料在聚酰亚胺柔性基底上沉积的附着性和内应力问题.在试验中探索和确定了制造应变计所需的各项工艺参数,并在实验室条件下批量制造出应变计.对完成的薄膜应变计的工作特性进行检定分析,结果表明薄膜电阻应变计的大多数性能参数都比较好.
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