【摘 要】
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随着介电薄膜在动态随机存取存储器(DRAM)以及单片微波集成电路(MMIC)上的广泛应用,探索新的高介电常数,低介电损耗及热稳定性良好的介电薄膜日益受到人们的重视.(Zr,Sn)TiO(
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随着介电薄膜在动态随机存取存储器(DRAM)以及单片微波集成电路(MMIC)上的广泛应用,探索新的高介电常数,低介电损耗及热稳定性良好的介电薄膜日益受到人们的重视.(Zr,Sn)TiO<,4>(以下简称为ZST)陶瓷由于其在微波频段具有优良的微波介电性能,虽然人们对其进行了广泛的研究,但对于ZST薄膜材料,系统的研究还未见文献报道,该论文探索利用溅射方法制备介电性能优异的ZST薄膜,系统的研究了ZST薄膜的生长特性、微结构及其低频与高频介电性能和光学性能.
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