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InSAR是近年来发展十分迅猛的遥感新技术，国内外对InSAR技术的研究已经相当深入，但是追求更高的精度是InSAR研究永远的原动力。
本文在系统分析InSAR处理中应用近似几何模型存在的问题后，提出了相应基于精密几何模型的处理算法，并对它们分别加以了实现和验证。本文首先详细推导了基于精密几何模型条件下星载雷达和机载雷达的斜距差方程与位相方程，论述了基于轨道参数进行轨道模拟和基线参数求解的方法。介绍了主从图像计算初始偏移量的算法，并详细分析了一些重要参数在图幅范围内的变化情况。
在分析平地效应形成原理的基础上，研究了基于精密几何模型条件下的去平操作算法，并论述了相应的实现步骤。讨论了平地位相在方位向上的调制问题，分析了其形成的原因，并利用增加斜率操作的算法去除了它的影响。对于精密几何模型与平地模型算法相应的去平结果，也作了理论上的分析比较。试验结果表明，基于精密几何模型的去平算法处理效果良好。
本文也论述了去平后基于精密几何模型对干涉图进行高程解算的算法和实现步骤，并详细比较了精密几何模型算法、平地模型算法和商用EV-InSAR软件分别进行高程解算得到的DEM。分析结果可以知道，基于精密几何模型的高程解算算法所得结果的精度相比平地模型而言提高比较大，与考虑了地球形状的EV-InSAR处理算法所得结果的精度很接近。由于这三种处理结果的精度都不是特别理想，可以推定，要想获得高精度的DEM数据必须引入控制点对原始生成的DEM进行高程校正。本文分别建立了对DEM进行高程校正的二次和三次多项式，并用不同数量的控制点分别进行解算。分析高程校正的结果可以知道，控制点的数量是影响校正精度的最大因素，控制点越多精度越高；另外也可以知道，三次多项式的校正精度要高于二次多项式，但是只要控制点的数量达到一定的要求，用二次多项式也能得到比较好的校正结果。