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微型无膜燃料电池或称为微流体燃料电池是一种无需质子交换膜的燃料电池，其通常由安装在T形或Y形的微通道内的两个电极构成，液体燃料和氧化剂分别从两个入口引入，沿着微通道流向出口。微型无膜燃料电池由于其具有的一系列优点（如无需考虑水管理、热问题，等）越来越成为便携式电子设备的电源发展方向。本论文以通用的MEMS微细加工方法以及微波等离子体技术在玻璃基板上集成超微立体电极，同时在实验室自制了微型无膜燃料电池。利用COMSOLMultiphysics3.4仿真模拟平台对电池设计进行了数值分析，并通过流场可视化