【摘 要】
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该文在一维热传导理论的基础上,利用热特征矩阵,建立了针对复合热释电薄膜的多层膜热传导模型.模拟了动态调制热辐射在多层薄膜结构中引起热释电膜的温升状况,分析了复合膜中
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该文在一维热传导理论的基础上,利用热特征矩阵,建立了针对复合热释电薄膜的多层膜热传导模型.模拟了动态调制热辐射在多层薄膜结构中引起热释电膜的温升状况,分析了复合膜中各功能膜层对热释电响应的作有.引入了浮动电极这种新型的探测器电极结构,并利用电滞回线测试试验证了其可行性.采用半导体工艺,成功地制备出了32元复合膜结构的热释电红外探测线阵.利用动态热释电探测系统,对热释电敏感元进行了电流响应的测试,发现直接在Si基底上制备热释电敏感元可能造成虚假信号.利用制备的32元探测线阵,装配成单元红外探测器原形器件,并测量了它的电压响应特性.结果表明半导体工艺与复合热释电探测器制备工艺相兼容.
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