LTCC工艺高集成度微波组件关键技术研究

来源 :南京理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ww5205205220
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
多芯片组件(MCM,Multichip-Module)技术是实现微波通信系统小型化、高可靠性、高性能的最有效途径之一,MCM技术已广泛应用于卫星、电子对抗、雷达及灵巧武器等各个领域。目前多芯片组件技术中最有发展优势的是低温共烧陶瓷技术(LTCC,Low Temperature Co-fired Ceramic),因其具有集成度高、性能优、成本低等特点,近年来发展迅速。随着微波系统对模块小型化、集成化的需求日益增长,LTCC高密度系统封装技术成为通信系统小型化的关键。  本课题是基于我国目前有源相控阵雷达和数字阵列雷达对收发组件小型化、高可靠性的迫切需求而展开,主要的研究工作和创新点如下:  1.宽带金丝互连结构和金丝慢波结构设计:阐述了利用多根金丝和金带结构、LC元件匹配方法和低通滤波器原理构建宽带金丝互连的方法。结合缺陷地结构(DGS,Defected Ground Structure)提出了新型金丝互连,该新型结构不仅拓宽了带宽,还解决了LTCC加工工艺对微带线线宽的限制问题。本文还介绍了利用金丝构建慢波结构,并提出了新型跨越式金丝慢波结构,该新型结构提高了慢波因子,可应用于无源器件的小型化设计。  2.微波无源器件小型化研究:LTCC把传统平面二维结构转换为三维立体结构,不仅提高了电路垂直方向集成度,还增加了设计者在垂直方向的设计自由度。本文介绍了滤波器和耦合器小型化技术,并基于LTCC接收机对无源器件提出的指标,提出了三种新型无源结构:(1)新型X波段非正交馈线、宽阻带LTCC双模滤波器。该滤波器输入、输出采用非正交布局,大大方便了该器件的集成和与系统中其它器件的互连。该滤波器在2.6f0频率处对信号有20 dB的抑制;(2)新型杂散抑制型垂直叉指电容(SVIC)。采用通孔连接垂直叉指电容(VIC)不相邻叉指的开路端,从而减少通带与阻带结构数量来实现杂散抑制。由于该新型电容还能提高单位面积电容值,该电容被用于集总参数中频滤波器的设计,该中频滤波器最终尺寸仅为0.004×0.004×0.0004λg。与使用传统垂直叉指电容(VIC)的滤波器相比,整体器件尺寸缩小了12%。(3)新型集总参数宽带LTCC3 dB正交型耦合器拓扑电路。该新型拓扑电路不仅能实现宽带效应,其所需的电容、电感值也小于现有文献中的元件值,因此其相对应的多层垂直叉指电容(VIC)和螺旋电感的尺寸可以更小,从而实现整体耦合器的小型化。另外,针对仿真软件器件库里缺少多层螺旋电感模型的问题,本文利用多层耦合线替代模型准确、高效地对LTCC螺旋电感进行了参数提取。  3.LTCC电路优化算法研究:随着三维多芯片组件组装密度的不断提高,各三维器件间存在的寄生效应以及仿真软件缺少相应的三维模型成为制约LTCC电路设计的瓶颈。因此研究高效、精准的优化算法,对于微波多芯片组件的设计有着重要的意义。本文对调谐式空间映射(TSM,Tuning Space Mapping)基本原理作了阐述。提出了新型无需调谐元件的调谐式空间映射算法,并将该算法用于LTCC多层叉指电容的优化中。通过优化实例,比较并证明了新型TSM算法较传统方法的优势和可操作性。  4.LTCC系统设计:多芯片组件特别是LTCC最大的优势是可以在单个共烧基板上实现系统高密度封装。本文基于接收机指标和LTCC工艺,对X波段LTCC接收机模块进行了方案设计和基板布局设计,并验证了系统的性能。
其他文献
土壤团聚体是物理保护土壤有机碳免受微生物分解的重要土壤结构特征。了解土壤团聚体的稳定性、周转速率以及其包裹的有机质的稳定性,是了解土壤固碳潜力以及制定缓解全球变化
该文从电度表的要求出发,对电度表电路结构(包括数字部分和模拟部分)和制造技术等方面进行了研究.该文运用微电子系统"Top-Down"设计方法,首先对电路进行总体结构设计和系统
白内障指眼内晶体部分或全部的混浊。是由于晶体结构及理化性质的异常改变导致其功能发生异常,并最终影响眼球的屈光性,造成视力障碍。所有白内障中,先天性白内障是一种比较
该论文包括四部分,各部分的主要工作如下:第一部分:OTDM网络的相关技术;第二部分:半导体光放大器的非线性效应及其在OTDM系统及网络中的应用;第三部分:色散补偿技术;第四部分:
薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)是平板显示(Flat PanelDisplay,FPD)技术的重要部分。随着大尺寸、高分辨率、3D显示技术的发展,目前应用的a-Si∶H TFT迁移率太低,p-Si TFT
该文应用并矢格林函数方法,分析树林中移动通信无线电波的传播特性.研究人员以置于树干层的偶极天线为例,首先应用四层树林模型的并矢格林函数法导出电场的积分表示式;然后,
云南地不容(Stephania yunnanensis Lo)是防己科千金藤属山乌龟亚属藤本植物。所含主要化学成分克班宁(Crebanine)具有较强抗心律失常的药理活性。本研究在云南地不容居群形
相变存储器(phase-change memory,PCM)体积小,成本低,可直接写入数据而不需要将原来的数据删除,并且与CMOS工艺兼容,因为相变存储器的种种优势,现在被认为是最有优势的下一代非易失
小麦是世界和我国最重要的粮食作物之一,直接影响粮食安全。提高粮食产量是维持粮食安全的重要保障,而通过生物技术挖掘和利用重要产量基因对于培育优良品种和提高粮食产量具有
电压比较器是一种常用的集成电路,它可用于报警器电路、自动控制电路、测量技术,也可用于V/F变换电路、A/D变换电路、高速采样电路等,是航天电子系统中不可或缺的一员。然而,工作