【摘 要】
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该文采用分子动力学与蒙特卡罗原子级建模方法进行了深入的研究与探讨.采用分子动力学方法模拟时难以预言金刚石(001)表面的自发二聚化是Tersoff势的不足之处.该文系统研究了
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该文采用分子动力学与蒙特卡罗原子级建模方法进行了深入的研究与探讨.采用分子动力学方法模拟时难以预言金刚石(001)表面的自发二聚化是Tersoff势的不足之处.该文系统研究了Tersoff势的截断距离参数S及温度T对金刚石(001)表面及近表面层原子行为的影响.为了获取金刚石/硅异质界面处的原子级结构信息,该文采用分子动力学方法模拟了未重构的金刚石/硅(001)面相接触时界面层原子的驰豫过程及所形成的异质界面的结构特征.为了详尽了解金刚石、类金刚石薄膜原子级的形成过程及相关的机制,该文采用分子动力学与蒙特卡罗联用的方法研究了荷能碳原子在金刚石(001)衬底上的碰撞及所形成的膜的结构特性.
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