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随着电力工业的高速发展,含有SF6气体的高压输变电设备数量不断增多,对SF6气体成分的监测日益重要。SF6气体具有优良的绝缘性能和优越的灭弧特性,SF6气体在电弧或电晕作用下,会发生分解,生成多种杂质气体(H_2O、SO_2、H_2S、HF等),从而腐蚀电气设备,降低设备绝缘性能,造成许多严重的后果,所以开发高压输电设备中SF6气体成分的监测系统已成为人们关注的重要课题。本文论述了检测SF6电气设备中SF6气体成分的重要意义,分析比较了国内外目前测量SF6气体成分的几种原理,根据各自的特点