论文部分内容阅读
该文以国家自然科学基金项目：以双法布里-珀罗纳米动态测量干涉系统为依托,用多学科前沿交叉理论及有关数学、光学、系统论及数字图象处理技术等为工具,研究双法布里-珀罗进一步技术及其在纳米测量中的应用；提出了通过测量以法布里-珀罗干涉仪透射光强基波等幅时间间隔的方法进行纳米测量的理论,研制了其实现的系统装置,并用实例验证了其正确性与可行性。