【摘 要】
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本文围绕KZ-400离子束刻蚀装置的设计、安装与调试进行了系统的介绍，主要包括以下内容：1.该装置的研制背景和总体设计方案的介绍；2.通过工作台二维传动力矩的分析计算，选择和确定
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本文围绕KZ-400离子束刻蚀装置的设计、安装与调试进行了系统的介绍，主要包括以下内容：
1.该装置的研制背景和总体设计方案的介绍；
2.通过工作台二维传动力矩的分析计算，选择和确定了运动导轨、传动螺杆及传动链的形式和结构；简介固体润滑机理，对用于导轨润滑的二硫化钼润滑剂进行了真空润滑性能试验和质谱分析；
3.用有限元分析法对真空室的受压形变和工作台扫描离子束时的温度分布进行了计算，并据此选择了合理的真空腔和工作台结构；
4.真空系统的配置，有效抽速及抽气时间计算，真空处理与真空状态的测量；
5.简介6×66cm2条形射频离子源工作原理，探测了离子束流密度横向积分在纵向分布的均匀性，并由测得的数据仿形出束阑孔径，通过束阑大幅度改善束流密度均匀性，使之达到或优于设计指标；
6.工作台和束流探测器的安装，运动精度的测量和补偿。
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