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该文主要工作是优化Si基MIS二极管气敏传感器的结构性能,探索器件制作的工艺条件,并研究不同复合敏感栅MIS二极管的气敏特性,分析其气敏机理.
复合敏感栅MIS二极管气体传感器的研制
【摘 要】
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该文主要工作是优化Si基MIS二极管气敏传感器的结构性能,探索器件制作的工艺条件,并研究不同复合敏感栅MIS二极管的气敏特性,分析其气敏机理.
【机 构】
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吉林大学
【出 处】
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吉林大学
【发表日期】
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2000年期
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