基于免疫反馈机理的MOCVD系统温度自动控制研究

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论文课题来源于国防科工委。本文具体研究了MOVCD系统温度控制系统部分。在理论上,参考国内外时滞系统研究成果、结合实际系统具体情况,对温度控制系统部分进行设计;对免疫、人工免疫、免疫反馈机理进行了重点研究,提出了一种基于免疫反馈机理的温度控制思想,设计了一种基于免疫反馈机理的温度控制器。在实际操作上,首先实现系统温度的闭环控制;然后针对实际系统,进一步得到系统温度与设定电压的近似关系曲线图,和系统延时大致的传递函数模型;接着,设计具体的误差参考函数进行衡量,寻求最优控制参数;最后,具体实现该控制算法,并将系统温度控制部分完善为完全手控、完全自控、手控自控相互平滑切换等三种控制模式,实际应用于生产,以供设备操作人员选用。仿真和应用实际表明,这种完善后的控制算法的控制性能优于传统的PI控制算法,在实际生产中得到好评。
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