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来源 :上海交通大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
微流控芯片是目前MEMS研究最为活跃的领域之一。高分子材料具有良好的生物兼容性、良好的表面电特性、低的荧光背景,使得大部分的生化分析可以成功进行,已经引起了越来越多的关
【作 者】
:
李建华
【机 构】
:
上海交通大学
【出 处】
:
上海交通大学
【发表日期】
:
2005年期
【关键词】
:
MEMS
微流控芯片
环氧树脂
热压成型
封装工艺
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