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【摘 要】
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基于MEMS技术的微泵,它是微流体系统的关键部件,具有体积小、功耗低、适宜批量生产等优点。微泵作为微流体系统的驱动部件,在生物、化学、医疗、检疫以及国防等方面构建微分
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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上海交通大学
【发表日期】
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2006年期
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