【摘 要】
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由于具备较好的稳定性,耐蚀性,较高的硬度和耐磨性以及亮度较低的金黄色彩,近年来氮化锆薄膜引起了国内外装饰等行业极大关注和研究兴趣.本研究以不锈钢基体上沉积的氮化锆薄
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由于具备较好的稳定性,耐蚀性,较高的硬度和耐磨性以及亮度较低的金黄色彩,近年来氮化锆薄膜引起了国内外装饰等行业极大关注和研究兴趣.本研究以不锈钢基体上沉积的氮化锆薄膜为研究对象,以先进的中频非平衡磁控反应溅射技术为研究手段.在镀膜机上安装QMS200质谱计替代质量流量计,精密实时监控和调整真空炉中的气体成分,研究真空炉内氮气分压对沉积的Zr-N薄膜的影响规律.通过XRD,XPS,AES,分光测色计,金相显微镜等先进的分析仪器,研究薄膜成分、物相,价位,组织相貌与颜色之间的关系.研究结果表明,随着真空炉内氮分压变化从0-85％,Zr-N薄膜中氮含量呈增加趋势,薄膜中的物相产生如下变化:锆的固溶体(晶相)→氮化锆(晶相)→无定形结构(非晶相),薄膜的颜色产生如下变化:银白→浅黄→金黄→红金→暗红色.通过观察不锈钢基体,锆固溶体和氮化锆薄膜的金相组织,锆固溶体在不锈钢基体上生长为岛状和条状形貌,氮化锆和锆固溶体之间无界面.薄膜的颜色取决于构成膜层的成分、相结构、厚度、薄膜的制备工艺和参数.
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