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本论文包括分布式MEMS移相器的理论分析、优化设计、性能改进等三部分内容。
本文以射频MEMS技术的发展应用为背景，介绍了射频分布式MEMS移相器的特点以及国内外的研究现状及发展趋势。
根据传输线理论和微波网络理论对分布式MEMS移相器进行了电路建模，根据所建立的模型提取设计参数，分析了移相器的Bragg频率、S参数、相移特性和损耗特性，然后采用电路仿真和全波分析的方法对所确定的参数进行了验证。此外还在已经确定的参数的基础上对分布式MEMS移相器的结构提出了改进的方案。