【摘 要】
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透明导电氧化物薄膜因其具有低的电阻率和在可见光范围内高的透射率，在太阳能电池、液晶显示等领域获得了广泛应用。透明导电氧化物薄膜主要包括SnO_2、In_2O_3、ZnO及上述氧化物的掺杂系列。ZnO薄膜由于具有优异的压电、光电、气敏、压敏等特性，近年来受到广泛关注。Al~(3+)掺杂的ZnO(简称AZO)薄膜因其具有优良的光电性能已成为研究热点之一。本文以二水合醋酸锌(Zn(CH_3COO)_2·
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透明导电氧化物薄膜因其具有低的电阻率和在可见光范围内高的透射率，在太阳能电池、液晶显示等领域获得了广泛应用。透明导电氧化物薄膜主要包括SnO_2、In_2O_3、ZnO及上述氧化物的掺杂系列。ZnO薄膜由于具有优异的压电、光电、气敏、压敏等特性，近年来受到广泛关注。Al~(3+)掺杂的ZnO(简称AZO)薄膜因其具有优良的光电性能已成为研究热点之一。本文以二水合醋酸锌(Zn(CH_3COO)_2·2H_2O)作为前驱体，乙二醇甲醚(C_3H_8O_2)作为溶剂，乙醇氨(HOC
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