【摘 要】
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首先,介绍了计算电磁场的矩量法,介绍了用矩量法求解大型积分和微分方程的方法和步骤.接着,针对集成电路明显的分层特点,介绍了一种用于提取分层介质中poisson方程闭式空域格
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首先,介绍了计算电磁场的矩量法,介绍了用矩量法求解大型积分和微分方程的方法和步骤.接着,针对集成电路明显的分层特点,介绍了一种用于提取分层介质中poisson方程闭式空域格林函数的通用算法.这种方法利用krylov子空间维数缩减技术,结合分层介质的谱域等效传输线模型,求出谱域格林函数的有理逼近表达式,再由留数定理得到闭式空域格林函数.最后,将闭式空域格林函数结合矩量法应用于多层多导体互连结构准静态电容矩阵的提取中,并给出了算例.通过数值结果的分析,表明该方法在分析多层介质多导体互连结构中具有所需计算时间少和存储空间小的特点,具有较高的实用价值.
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