【摘 要】
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MEMS技术对于未来光纤通信网络的影响巨大，也必定将发挥出其重要作用。本文首先介绍了MEMS的基本工作原理及微传感器和微执行器中的若干典型应用。其次，继续介绍了MEMS产品开发
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MEMS技术对于未来光纤通信网络的影响巨大，也必定将发挥出其重要作用。本文首先介绍了MEMS的基本工作原理及微传感器和微执行器中的若干典型应用。其次，继续介绍了MEMS产品开发中重要的制造加工工艺和封装技术。 接着，重点介绍了光通信网络中基于MEMS技术的一些重要光器件。因MEMS光开关在整个光通信网络系统中的重要作用，本文着重介绍了其工作原理以及主要实现方式，包括基于微镜阵列的一维、二维和三维实现方式，还同时简单介绍了悬梁臂式的光路遮挡型MEMS光开关和移动光纤对接型MEMS光开关。另外，还介绍了MEMS光开关的控制原理。同时，还重点分析了当前MEMS光开关发展中需要解决的一些技术瓶颈。 最后，再介绍了基于MEMS技术开发的可变光衰减器和可调谐激光器，并分析了MEMS技术在未来发展中需面对的一些问题。解决好这些技术问题，无疑将把MEMS技术推向更高的研究地位，大大提高其市场应用价值和理论价值。
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