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透明导电掺铝氧化锌(AZO)薄膜因其电阻率和在可见光范围内的透射率与目前广泛应用的掺氟氧化锡(ITO)薄膜相当,而且其在氢等离子体中的稳定性又高于ITO薄膜,因此,用AZO透明导电薄膜替代ITO薄膜的已经成为目前的研究热点。本文以乙二醇甲醚为溶剂,乙酸锌为前驱体,单乙醇胺为稳定剂,以三氯化铝为掺杂剂,采用溶胶-凝胶法提拉制得透明导电AZO薄膜。研究了溶胶浓度、铝掺杂量、预处理温度和退火温度等工艺参数对AZO薄膜光电性能的影响。结果表明,当溶胶浓度、Al3+掺杂量、预处理温度及退火温度分别