【摘 要】
：
本文在以前北大微电子研究院对高深宽比硅刻蚀模拟研究的基础上，对高深宽比硅刻蚀工艺中的Footing效应、主要DRIE工艺参数对模型参数的影响等问题进行了深入的研究。Footing效
论文部分内容阅读
本文在以前北大微电子研究院对高深宽比硅刻蚀模拟研究的基础上，对高深宽比硅刻蚀工艺中的Footing效应、主要DRIE工艺参数对模型参数的影响等问题进行了深入的研究。Footing效应是指高深宽比硅刻蚀进行到硅/氧化硅 (绝缘层)界面时在界面处发生的横向钻蚀现象，本文首先对Footing的产生机理：电荷积累和反应过程的热传输，进行了分析，在此基础上，构建了基于电荷积累机理的数值模型，模拟了模拟粒子运动、沟槽底部的电荷积累、产生的局部电场以及正离子的偏转，为模拟footing效应的钻蚀剖面演进奠定了基础。
论文对BOSCH高深宽比硅刻蚀的三个子过程，即C4F8聚合物的淀积，聚合物的刻蚀以及SF6硅的刻蚀，采用响应曲面方法设计相应一系列实验，建立了参数变量与工艺响应的非线性关系。
基于参数变量与工艺响应之间的非线性关系，论文设定一定的参数变量应用到DROPIE中，对Bosch各向同性及各向异性刻蚀进行模拟，并与实验结果进行比较；耦合基于电荷积累效应的数值模拟结果到DROPIE模拟工具中，模拟了Footing效应底部钻蚀的剖面演进过程，并与实验结果进行比较。
最后对目前尚存在的问题进行了分析，并对今后进一步的研究工作提出了一些建议。
其他文献
本文首先研究了Agrobacterium tumefaciens ATCC4452离子束诱变改造，比较了不同剂量氮离子注入对突变率和存活率的影响，经过连续6轮离子束诱变选育，得到具有较好遗传稳定性的突
1萌芽前随着气温的逐渐升高,各种病虫也开始进入一个新的危害周期,此时,全园喷洒3~5波美度石硫合剂1遍。萌芽前15天左右,亩追施尿素10千克或氮磷钾复合肥15~20千克,施后行间
“仔猪断奶应激综合症”(Piglet post-weaning stress syndrome，PPWSS)一直是养殖场对断奶仔猪饲养和管理的最大挑战，其极易造成仔猪消化不良，胃肠道pH偏高，给肠道致病菌以可乘之
植物生态学特性诸如植物的分布特征、与生境的关系、生物学特性、繁殖成功特点及其影响因素等方面的详细资料是研究珍稀植物种群结构和动态以及开展保育生物学研究的基础。
Let R be a ring. R is called right AP-injective if, for any a ∈ R, there modules. A right R-module M with S = End(MR) is called quasi AP-injective if,In this p
双基地合成孔径雷达(BiSAR)是将雷达的发射系统和接收系统分别安装在不同的运载平台上的合成孔径雷达系统。BiSAR具有获取信息丰富，安全性好，抗干扰性好，工作模式灵活等特点，近十
近年来,在全球变暖、能源危机的形势下,“绿色”能源、低功耗技术成为了开关电源发展领域的热点。LED作为一种绿色环保的照明光源与常规照明光源相比较,具有低功耗、高可靠性和长寿命等一系列优点。其中大功率的LED照明被广泛的应用在路灯照明、景观照明以及汽车车灯照明等不同的领域。但是由于大功率LED的特性,电源一般需要将交流电变换成直流电。在电源的转换过程中容易引入谐波电流,而谐波电流将会带来很带来电压失
感应测井仪器是利用地层电阻率测量的原理来有效地解释评价油气储藏。三维感应测井仪采用三维线圈,能同时反映水平方向和垂直方向的电导率,更精确地评价岩石特性,最大限度的
微机械电子系统(MEMS)与光纤传感技术的结合给声传感器的设计和研制带来了全新的发展方向——MEMS光纤声传感器。与传统传声器相比，MEMS光纤声传感器具有灵敏度高，探测端电绝缘
ZnO是目前国际宽禁带半导体研究的热点材料之一，由于它具有非常大的激子束缚能(60meV)，在紫外发光二极管和激光二极管等光电子领域有着非常广阔的应用前景。然而，要实现高效率的