【摘 要】
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该文针对窄带滤光片的膜系设计、监控手段、误差分析进行了深入的理论研究,并进行了大量的实验研究.首先,分析了多腔窄带滤光片的光谱特性(截止带及通带带宽,透射带的陡峭度
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该文针对窄带滤光片的膜系设计、监控手段、误差分析进行了深入的理论研究,并进行了大量的实验研究.首先,分析了多腔窄带滤光片的光谱特性(截止带及通带带宽,透射带的陡峭度、纹波大小)与膜系结构参数的关系.在上面的理论指导下,提出利用计算机对膜系结构寻优的方法,编制了相应的寻优程序.对窄带滤光片的误差灵敏度进行了分析,通过对三腔、四腔和五腔膜系的灵敏度计算,发现膜层的灵敏度与该层膜在腔中的位置紧密相关,腔层的灵敏度最高,膜层越远离腔层灵敏度越低,腔与腔之间的耦合层的灵敏度很低.对膜系容差进行了分析.在分析容差时我们尝试了多种监控方法,找到了窄带滤光片的合适的监控策略,并对这种监控方式从理论上进行了分析.实现了国家重点实验室EBS-26B镀膜机的数据口与微机的软硬件连接,并另外编制了程序对实验数据处理.完成了大量薄膜淀积实验,确定了镀膜机上镀制光学薄膜的部分工艺参数和控制参数,得出了一些对以后在此镀膜机上淀积规整或非规整膜系时具有指导意义的实验结果.
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