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ZnO是一种六角纤锌矿结构的直接带隙(～3．3 eV)半导体材料，具有多种优良的物理化学性能，如导热性能好、化学性质稳定，且材料来源十分丰富，在光电探测器、发光二极管、表面声波器件、变阻器、气体传感器、太阳能电池等领域具有广泛的应用价值。掺杂ZnO能进一步改善其性能，尤其在有机柔性衬底上生长的ZnO基薄膜具有可绕曲、重量轻、不易破碎、易于大面积生产、便于运输等独特的优点，可广泛应用于制造智能卡片、电子地图、平面显示器和柔性衬底太阳能电池等，具有很好的应用前景。本文利用脉冲激光沉积(Plused La