【摘 要】
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论文从实验各理论两方面对磁铁材料表面氧化铝等离子体涂层的真空吸附行为特性和机理进行了进一步探讨和研究.首先探索了等离子体喷涂工艺参数对涂层性能的影响.制备了若干种不同喷涂参数的样品,通过电镜等测试手段找出具有最佳孔隙度和较好粘结性的涂层以便对喷涂工艺参数进行优化筛选;以最佳喷涂参数为参考,分别制备了三种粉末材料的涂层作后续实验样品,并用电镜等手段进行了形貌表征.通过利用激光诱导脱附和用光电子能谱XPS的实验手段分析了涂层表面可能存在的吸附气体成分和基团.在理论上对氧化铝涂层与真空室6种常见残余气体成份H<
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论文从实验各理论两方面对磁铁材料表面氧化铝等离子体涂层的真空吸附行为特性和机理进行了进一步探讨和研究.首先探索了等离子体喷涂工艺参数对涂层性能的影响.制备了若干种不同喷涂参数的样品,通过电镜等测试手段找出具有最佳孔隙度和较好粘结性的涂层以便对喷涂工艺参数进行优化筛选;以最佳喷涂参数为参考,分别制备了三种粉末材料的涂层作后续实验样品,并用电镜等手段进行了形貌表征.通过利用激光诱导脱附和用光电子能谱XPS的实验手段分析了涂层表面可能存在的吸附气体成分和基团.在理论上对氧化铝涂层与真空室6种常见残余气体成份H<,2>、H<,2>O、CO、N<,2>、CH<,4>和CO<,2>等作用的体系结构进行了量化分析,使用专业计算软件GAUSSIAN98并以两种算法和若干基组做了计算,给出了稳定构型、结合能、键长、频率、布居数等参数.结合计算结果对涂层真空吸附残余气体谱和激光诱导脱附谱的谱峰分布作了分析.
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