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随着科学技术的发展和人类社会的进步,人们对各类高精尖技术领域振动的控制要求也日趋严格。各种振动很大程度上限制着超精密仪器的性能发挥,例如扫描探针显微镜(SPM)在加工检测时易受到外界干扰。尤其在各类高分辨率测量场合和超精密加工制造过程更是如此,因此开展对超精密仪器隔振技术研究具有非常重要的理论意义和实用价值。本论文课题源自于国家自然科学基金资助项目“弹性浮动研磨新技术及其金刚石研磨应用研究”(No.50675037)和广东省科技计划项目“超微量基因注射检测装置开发”(No.2003B120