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高功率全固态光参量振荡器(OPO)具有高平均功率和宽调谐等优点,属光参量振荡器的重大发展方向之一,在生物医学、光谱学、材料加工、科学研究及国防等方面有广阔的应用,已成为近年来的研究热点。本论文在理论上发展了高功率纳秒(ns)OPO特性的理论模型,计算了最佳参数,模拟了光束发散性的影响;在实验上实现了nsLBO-OPO高平均功率、高转换效率及宽调谐输出;对紧凑结构OPO的高效率直接泵浦源—大功率垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)—在理论上对其最佳参数优化及热管理进行了计算和分析,以此为依据进行优化设计,提高器件性能,得到高功率输出。论文有以下创新之处:
1.发展了高功率nsOPO特性的理论模型,首次将此模型用于分析CPMBBO-OPO和NCPMLBO-OPO泵光光束发散性对转换效率的影响,结果表明光束发散强烈影响最佳泵浦强度、最佳晶体长度和OPO转换效率,光束发散对BBO-OPO的影响比对LBO-OPO的影响大。其结果提供了优化OPO设计参数的依据。
2.对高平均功率nsOPO的相位匹配、谐振腔设计和模式匹配做了详细研究,通过优化设计,采用532nm大功率全固态绿光做泵浦源,我们研制的LBO-OPO激光器在腔内泵浦功率为18W时得到900nm输出9.4W,对应信号光效率52%,为信号光最高转换效率,最高信号光功率达到13.5W;采用更高功率泵浦源在860nm的输出功率达到18W,为nsLBO-OPO的国际最高水平。
3.通过改变LBO-OPO的晶体温度得到778-1036nm的宽调谐输出,并采用新型非线性光学晶体BiBO进行走离补偿倍频,得到瓦级可调谐蓝光全波段(450-495nm)输出。
4.首次对高功率nsLBO-OPO信号光的光束质量进行了测量分析,表明在泵浦光光束质量M2=9.5的情况下,信号光的光束质量主要取决于泵浦光的光束质量,二者比较接近,并可以得到较高的OPO转换效率和高平均功率输出。
5.对OPO的高效率直接泵浦源VCSEL,在理论上详细研究和分析了有源区量子阱层数、有源区直径、材料热导、串联电阻和电极间距等对VCSEL器件性能的影响。通过对设计参数进行优化,与长春光机所合作,我们研制的980nm高功率VCSEL器件,在输出窗口为500μm直径时,连续波光功率输出达到1.95W,经中国科学院成果鉴定,该指标处于国际领先水平。