【摘 要】
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随着电子器件的尺寸越来越小,构成器件的材料表面上原子的性质将影响甚至决定着器件的功能和特性;这样就对材料本身提出了更高的要求.作为电子工业基础材料的硅,表面原有的一
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随着电子器件的尺寸越来越小,构成器件的材料表面上原子的性质将影响甚至决定着器件的功能和特性;这样就对材料本身提出了更高的要求.作为电子工业基础材料的硅,表面原有的一层天然氧化物妨碍了其在一些领域的应用,虽然人们发现氢结尾的硅表面具有极好的电学特性,但是由于其在环境条件下极易氧化,限制了其应用的可能性.我们的主要工作是首次将表面微分电容测量分析运用到硅(111)表面有机单分子膜的特征表征,建立起表面微分电容与有机单分子膜结构之间的关系.
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