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表面等离激元（Surface Plasmon polaritons，SPPs）是金属中的自由电子和外加光场之间耦合而产生的一种电磁波。表面等离激元共振（Surface Plasmon polaritons resonance，SPR）时能实现局域增强、异常透射等特殊的电磁场现象，在光存储、光检测、超分辨成像、新型微纳光子器件设计等众多领域有着广泛的应用。SPR的激发需要自由空间波矢与SPPs波矢相匹配，因此需要采用特殊的激发方式。光栅耦合是目前最常用的一种激发方式，具有原理简单、结构设计容易、操作性强等优点，本文就主要研究亚波长金属光栅激发SPR的特点及在深紫外光刻技术中的应用。主要工作如下： 1．对比研究了四种不同结构的亚波长光栅的SPR激发情况，分别是介质光栅、无基底的金属光栅、含基底的金属光栅、上表面覆盖介质层且含基底的金属光栅。 2．研究了在满足SPR激发条件时亚波长金属光栅中的异常透射现象，对光栅下表面介质层中形成的SP干涉条纹进行了分析，仿真计算了光栅材料和结构参数对干涉条纹周期的影响。 3.设计了可用于深紫外光刻（248nm、365nm、436nm）的亚波长金属光栅结构，计算了光刻胶中的干涉条纹周期和对比度。