【摘 要】
：
光电子集成电路(OEIC)以其体积小、结构紧凑、寄生效应小以及低成本、低功耗的优点成为实现超大容量信息高速传输、处理、交换和存储的一条重要途径.作为OEIC的基础,如何优化
论文部分内容阅读
光电子集成电路(OEIC)以其体积小、结构紧凑、寄生效应小以及低成本、低功耗的优点成为实现超大容量信息高速传输、处理、交换和存储的一条重要途径.作为OEIC的基础,如何优化其外延材料的性能是这一研究领域的关键问题之一.该论文围绕这一问题,利用低压金属有机化学气相沉积(LP—MPCVD)技术进行了一系列研究.1.通过低温生长的方法提高了HBT基区GaInAs中的p型掺杂浓度,并结合生长暂停的措施抑制了基区杂质Zn的正常扩散和非正常扩散.2.研究了低生长温度下Zn源DEZn流量对GaInAs晶格常数的影响,提出DEZn对TEGa分解的影响是造成这一现象的主要原因.3.进行了低温下GaInAs和InP中n型重掺杂研究,提出利用降低Ⅴ/Ⅲ比的方法可以提高n型掺杂浓度,解决了低温下n型掺杂浓度提高困难的问题;考虑Ⅴ族原子在生长表面的覆盖对Si吸附的影响,解释了这一利用简单替位模型无法解释的现象.4.研究了低生长温度下砷烷流量对GaInAs晶格常数的影响,提出砷烷对TEGa分解的影响是造成定现象的原因.5.作为激光器外延材料生长的基础,对各种不同波长的GaInAsP四元化合物的生长条件进行了研究.6.分别生长了独立的HBT外延片、激光器外延片以及垂直集成OEIC外延片;测试结果(X光、PL谱、EVC)表明外延片符合材料结构设计要求,可进行器件制作.
其他文献
近年来，部分溴代阻燃剂(brominated flame retardants)和全氟化合物(perfluorinated compounds)在环境中广泛分布，对人类和自然环境造成严重危害而引起了国际上的广泛关注。有
信息时代的到来，人们对通信的移动性和信息的需求性急剧攀升。以现代通信技术和互联网技术相结合而形成的“移动互联网”技术应运而生，移动互联网的出现极大的改变了人们的生活
本文开发了一种蓝牙无线分布式监控系统，该系统主要采用蓝牙技术对保密机关、博物馆、银行、证券和物业管理等系统和部门的特殊设备和贵重物品的安全情况进行实时监控，以便保证
光放大器是未来光纤互联网络的重要组成部分.光放大器通常可以分为两类:光纤放大器(OFA)和半导体光放大器(SOA).相比于光纤放大器,SOA具有波长连续选择(1.3-1.55 μ m)、体积
环境噪声给动物的声通讯带来了严重的干扰，有的动物会改变叫声的频率或者增加叫声的强度避免噪声的干扰。
本文用声行为学及神经电生理等方法，研究在噪声环境下蛙的声通讯
本文中，对PECVD方法制备的a-Si：H/SiO2多层膜在逐步升温热退火过程中发光性质的演变进行了详细的研究，结合微观结构的分析，揭示了其发光来源和随退火温度变化的机理。另外，用a-SiC
淫羊藿是我国传统的药用植物，具有补肾阳、强筋骨、祛风湿等功效，而黄酮醇苷为其主要活性成分。目前关于淫羊藿的研究偏重于遗传多样性、活性成分结构解析，较少涉及药效成分的生
由于在身份鉴别中的重要作用,人脸识别正日益成为模式识别,计算机视觉和人工智能领域的热点之一.该文提出了一种基于仿生模式识别的人脸识别新方法.对仿生模式识别理论在人脸
本文共包含了10个实验，其中9生长实验主要研究的是三种不同蛋白源饲料，鱼粉(FM)、豆粕(SBM)菜粕(RM)对三种规格（养成期、养成中期、幼鱼期）的异育银鲫“中科3号”(Carassius aura
临床医学研究表明，血管中血液流动的参数能够直接反映血管的生理功能，对于血管系统疾病的诊断、治疗和治疗效果评估有重大意义。医学多普勒超声技术是医学超声诊断当中一个较大