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全固态激光器(DPSSL)与传统的灯泵激光器相比具有高效率、稳定性好、结构紧凑、小型化、长寿命等优点。紫外相干光源在超高密度光驱、精密材料加工、紫外固化、光刻、光印刷、医疗、光谱分析和科学研究等领域有广泛的应用前景,近年来成为激光领域研究的热点之一。本论文围绕全固态355nm 紫外激光器进行了理论和实验研究,并取得了一些成果,论文主要内容概括为:1 介绍了全固态紫外激光器的优点及其应用;总结了目前产生紫外激光方法及取得的最新进展。2 应用非线性光学倍频、和频理论和Q 开关理论对实现全固态紫外激光器进行了实验研究,分析各种非线性晶体的基本特性,比较了其优缺点。探讨了获得最佳355nm 紫外激光运转的方式。3 详细比较了波长1064nm 的最佳倍频晶体KTP 晶体和LBO 晶体的各种光学特性,实验研究了声光调Q 腔内倍频实现基波和绿光输出平均功率相同时基波的最佳透过率,并探讨了对1064nm 基波腔内倍频、腔外和频实现355nm 以及声光调Q腔内倍频、腔外四倍频获得266nm 的的紫外激光方案的可行性,在泵浦功率6.9W,重复频率15kHz 的情况下获得71mW 266nm 紫外激光输出,单脉冲能量4.7μJ。4 根据相位匹配原理,结合KTP 晶体、LBO 晶体、BBO 晶体的相位匹配特点以及其光学特性,选用腔外倍频、和频的方案实现高效的355nm 紫外激光输出。分别使用KTP/BBO 晶体、KTP/LBO 晶体、LBO/LBO 晶体实现腔外1064nm 三倍频产生355nm 紫外激光。使用KTP/BBO 晶体,在6.66W 泵浦功率、重复频率10kHz情况下,获得148.4mW 紫外激光输出,1064nm→355nm 光-光转换效率为14.7%,单脉冲能量14.8μJ。使用KTP/LBO 晶体,泵浦功率为14.5W、重复频率20kHz 时,获得421mW、TEM00 模355nm 紫外激光输出,1064nm→355nm 光-光转换效率为18%,脉宽7.8ns,峰值功率2.7kW,单脉冲能量21μJ。使用LBO/LBO 晶体,当泵浦功率为16W、重复频率20kHz 时获得脉宽25ns、平均功率266mW 的355nm 紫外