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点衍射干涉仪采用小孔衍射标准球面波作为参考波前,满足了高精度波前检测要求。点衍射干涉仪是共光路系统,参考光和测试光难以分离,移相困难,只能通过交互式的方法处理干涉图,不能满足自动化检测要求。为了测量瞬态近红外激光波前,提出了一种新型的近红外反射式错位点衍射干涉仪,在点衍射干涉仪中引入空间相位调制,满足了自动化检测的要求。首先,为了满足近红外激光光束的高精度瞬态波前检测要求,提出了一种斜入射结构的近红外反射式错位点衍射干涉仪方案。将点衍射干涉仪集成在镀有特殊膜系的平板基片上,相干光波分别在平板前后表面