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磁悬浮平面电机通过动子与定子之间相互作用的电磁力，实现动子部件的无接触稳定悬浮和超精密平面驱动，是下一代超精密加工定位平台的驱动部件，开展磁悬浮平面电机的深入研究，对下一代超精密加工技术的发展具有极其重要的意义。本文提出了一种新型层叠绕组式五自由度磁悬浮永磁直流平面电机结构，通过对平面电机磁场的解析分析，建立了平面电机气隙和电压的理论模型，并完成了大范围线性化研究以及基于H∞理论的鲁棒控制系统设计，主要内容如下：1、分析了新型层叠绕组式磁悬浮平面电机的结构与多自由度运行原理；利用傅里叶级数法