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近年来,随着大气光通信技术的飞速发展,对光学系统的光学元件提出了越来越高的要求,而光学薄膜技术则在提升元件光学性能方面扮演着不可或缺的重要角色。本文介绍了650nm反射、10.6μm透射的薄膜干涉滤光片的研制过程。对硫化锌基底及现有镀膜材料的光学、物理性质作出了对比,选用了多光谱硫化锌作为基底,ZnS和YbF_3作为高低折射率材料。利用膜系软件进行膜系设计,通过优化膜层厚度达到最佳效果。实验是在TXX700真空镀膜机上完成的,利用电子束和离子辅助进行沉积镀膜,介绍了工艺制备过程,分析了膜层