【摘 要】
：
绝缘膜正常电现象在集成电路芯片低能电子束检测方面具有可以利用的前景.采用简化的表面电位分布模型,通过数值方法计算了二次电子从正带电绝缘物表面发射后的运动轨迹,分析
论文部分内容阅读
绝缘膜正常电现象在集成电路芯片低能电子束检测方面具有可以利用的前景.采用简化的表面电位分布模型,通过数值方法计算了二次电子从正带电绝缘物表面发射后的运动轨迹,分析了初始条件和电位分布形态对轨迹特性的影响.在轨迹计算和考虑二次电子发射概率分布的基础上得到了二次电子受局部电场作用而返回表面时的最大初始动能、分布规律.在此基础上,通过绝缘物表面照射微区和衬底之间的有效电容,获得了表面电位和二次电子信号电流在表面电荷积累过渡过程中随照射条件的变化关系,建立了电子束照射覆盖有绝缘膜的IC芯片时形成静态电容衬度的理论模型.从理论上分析了电子束照射条件和芯片内部形貌、材料参数对静态电容衬度的影响,解释了最近在扫描电境实验中的最大衬度现象及其对应的最佳电子照射条件.
其他文献
该论文工作旨在研究器件和工艺设计领域中的一种新的设计方法学,即工艺综合方法学(Process SynthesisMethodology),并以对该方法学的研究和发展为基础,开发了一套工艺综合软
该文选取最有希望并入Si CMOS电路的平面SiGe PMOSFET器件进行研究,在全面总结应变SiGe材料物理参数模型基础上,以半导体器件二维数值模拟程序MDEICI为手段,探讨了SiGe PMOS
研究分为两个部分：利用时域有限差分法建模和自适应噪声对消法抵消直达波.论文首先叙述了时域有限差分法的基本原理,通过实验数据对比了两种吸收边界条件的精度,并选择Liao吸
高选择性的二氧化硅对单晶硅及多晶硅的干法腐蚀工艺在半导体加工领域占有重要地位.传统的高选择性干法腐蚀工艺需要频繁的清洗反应腔,该文通过大量实验找出了一种选择性即高
人们日益增长的高速信息传输需求对移动通信提出新的挑战，促使着移动通信系统不断地更新换代。正交频分复用(OFDM)技术被普遍认为是有效应对这一挑战的无线高速传输技术，它具有
该文对集成电路功能成品率模型、仿真技术以及功能成品率优化设计方法进行了系统研究.主要研究结果如下:首先,研究了工艺缺陷引起电路故障的机理,在冗余物缺陷和丢失物缺陷的
大米草(Spartina anglica C.E.Hubbard)属于禾本科米草属的多年生草本植物，天然分布于英国海岸，是以欧洲米草(S.maritima)为父本，互花米草(S.alterniflora)为母本的自然杂交种。
城市是人口、资源、环境和社会经济等要素高度密集的综合体，因此城市的发展是人地关系的焦点。随着经济的快速发展，中心城市人口剧增，周边人口大量涌入，城市规模逐渐增大。伴随着
商业模式是企业市场价值的实现模式。随着全球化、信息化、市场化不断深入,传统商业模式受到了前所未有的挑战,传统商业模式多集中进行实体渠道、实物产品的流通,然而互联网
该文详细介绍了无人机箱式发射自动检测与发射控制系统的工作原理，论证了适合其特点的总体方案，并着重对系统的硬件和软件设计进行了分析和研究.硬件设计采用嵌入式计算机（PC104